Caracterisation electrique des transistors finfets

Name: Caracterisation electrique des transistors finfets
Brand: Omniscriptum
SKU: 9786131577888
Price: 44.96 EUR
Availability: InStock

Автор: Rachida Talmat

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Корици: С меки корици

Издател: Omniscriptum

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Dans ce travail, des mesures en régime statique et en bruit ont été effectuées sur des transistors F...

Информация за книгата

Автор

Rachida Talmat

Език

Френски език

Корици

Книга - С меки корици

Издадена

2018

страници

152

EAN

9786131577888

ISBN

6131577889

Enbook ID

07116067

Издател

Omniscriptum

Теглоt

231

Размери

152 x 229 x 9

Пълно описание

Dans ce travail, des mesures en régime statique et en bruit ont été effectuées sur des transistors FinFETs réalisés sur substrat SOI, issus de la technologie 32 nm, ayant deux différents isolants de grille. L'un est l'oxyde d'hafnium et le second est le silicate d'hafnium nitruré. La plupart de ces dispositifs ont subi des techniques de contrainte mécanique locales et globales. Les résultats de mesures en statique ont montré l'amélioration considérable des performances dans les transistors contraints par rapport aux transistors standards. Les résultats de mesures de bruit ont permis d'évaluer la qualité de l'isolant de ces dispositifs, le silicate d'hafnium nitruré semble avoir une meilleure qualité. L'étude du bruit a permis aussi d'apporter des informations sur le transport ainsi que sur les mécanismes physiques qui génčrent le bruit en 1/f dans ces dispositifs. Les mesures de bruit en fonction de la température (100 K - 300 K) ont permis d'identifier des défauts, souvent liés ŕ la technologie de fabrication, dans le film de silicium par la méthode de spectroscopie de bruit.

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