Над 4 милиона заглавия на английски и други езици! Открийте новата си история още днес! Безплатна доставка за поръчки над 69.99€

Виж статуса на поръчката

Свържете се с нас

Micro and Nano Fabrication

Name: Micro and Nano Fabrication
Brand: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG
SKU: 9783662508268
Price: 87.47 EUR
Availability: InStock

Tools and Processes

Автор: Hans H. Gatzen, Volker Saile

Език:

Корици: С меки корици

Издател: Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Наличност: Външен склад

Изпращаме след 5-8 дни

87.47 € 171.09 лв

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each...

Информация за книгата

Автор

Hans H. Gatzen, Volker Saile

Език

Английски език

Корици

Книга - С меки корици

Издадена

2016

страници

519

EAN

9783662508268

ISBN

3662508265

Enbook ID

15201792

Издател

Springer-Verlag Berlin and Heidelberg GmbH & Co. KG

Теглоt

1115

Размери

155 x 235 x 30

Пълно описание

For Microelectromechanical Systems (MEMS) and Nanoelectromechanical Systems (NEMS) production, each product requires a unique process technology. This book provides a comprehensive insight into the tools necessary for fabricating MEMS/NEMS and the process technologies applied. Besides, it describes enabling technologies which are necessary for a successful production, i.e., wafer planarization and bonding, as well as contamination control.