Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Name: Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387
Brand: Materials Research Society
SKU: 9781558992900
Price: 27.06 EUR
Availability: PreOrder

Автор: Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Език:

Корици: С твърди корици

Издател: Materials Research Society

Наличност: Очаква се допечатка

Срокът не е известен

27.06 € 52.92 лв

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in t...

Информация за книгата

Автор

Steven R. J. BrueckJeffrey C. GelpeyAhman KermaniJorgé L. Regolini

Език

Английски език

Корици

Книга - С твърди корици

Издадена

1995

страници

455

EAN

9781558992900

ISBN

1558992901

Enbook ID

02060050

Издател

Materials Research Society

Теглоt

795

Размери

160 x 231 x 30

Пълно описание

The fourth in a continuing series on rapid thermal processing (RTP), this volume addresses work in traditional RTP processes such as dielectric growth, annealing and silicides, as well as developments in integrated processes. The primary focus, however, is the manufacturing aspects of RTP and the successful integration of RTP into production semiconductor fabs. Emphasis is placed on process and equipment modelling and the critical aspects of RTP, such as temperature measurement, uniformity and control. Topics include: modelling, sensors and control; integrated processing and manufacturing; dielectrics; epitaxy, polysilicon and devices; and junctions, metallization and contacts.

Може също да ви хареса

Клиенти, които купиха тази книга, купиха също

Най-често търсени

Categories

Authors

Publishers

Продукти

Продукти

Най-често търсени

Categories

Authors

Publishers

Продукти

Продукти

Rapid Thermal and Integrated Processing IV: Volume 387

Информация за книгата

Пълно описание

Може също да ви хареса

Клиенти, които купиха тази книга, купиха също