Книга Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography F.m. Schellenberg

Resolution Enhancement Techniques in Optical Lithography

Автор: F.m. Schellenberg
Език: Английски език
Корици: С твърди корици
Издател: SPIE Press
Наличност: 50% вероятност
Ще претърсим света
141.82 277.38 лв
Optical lithography for integrated circuits is undergoing a renaissance with the adoption of Resolut...

Информация за книгата

Автор
Език
Английски език
Корици
Книга - С твърди корици
Издадена
2004
страници
900
EAN
9780819451668
ISBN
9780819451668
Enbook ID
06371935
Издател
Теглоt
2265

Пълно описание

Optical lithography for integrated circuits is undergoing a renaissance with the adoption of Resolution Enhancement Technology (RET). Some RET concepts have become routine in manufacturing. This volume gathers together seminal RET papers.

Може също да ви хареса

32.86 64.27 лв