Silicon Semiconductor Technology

Name: Silicon Semiconductor Technology
Brand: Springer, Berlin
SKU: 9783658410407
Price: 67.26 EUR
Availability: InStock

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Автор: Ulrich Hilleringmann

Език:

Корици: С меки корици

Издател: Springer, Berlin

Наличност: Външен склад

Изпращаме след 8-11 дни

67.26 € 131.54 лв

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for micro...

Информация за книгата

Автор

Ulrich Hilleringmann

Език

Английски език

Корици

Книга - С меки корици

Издадена

2023

страници

276

EAN

9783658410407

Enbook ID

43050800

Издател

Springer, Berlin

Теглоt

524

Размери

168 x 240

Пълно описание

The book presents the basic steps and the technical implementation of individual processes for microelectronic circuit integration in silicon. Interaction and influences of e. g. oxidation, etching, doping and thermal processes for integrating CMOS- and Bipolar circuits are discussed in detail, beginning with the purification of silicon up to the encapsulated integrated circuit. It includes modern processes like atomic layer deposition and etching for nanoscale structures and compares improvements like silicide contacts, copper metallization, high-k dielectrics, and SOI and FINFET structures. All processes are presented looking from the process engineer's view.

Може също да ви хареса

Клиенти, които купиха тази книга, купиха също

Най-често търсени

Categories

Authors

Publishers

Продукти

Продукти

Най-често търсени

Categories

Authors

Publishers

Продукти

Продукти

Silicon Semiconductor Technology

Processing and Integration of Microelectronic Devices

Информация за книгата

Пълно описание

Може също да ви хареса

Клиенти, които купиха тази книга, купиха също