Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Name: Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications
Brand: John Wiley & Sons Inc
SKU: 9780470016084
Price: 208.01 EUR
Availability: InStock

Автор: Hiroyuki Fujiwara

Език:

Корици: С твърди корици

Издател: John Wiley & Sons Inc

Наличност: Външен склад

Изпращаме след 10-18 дни

208.01 € 406.82 лв

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semicond...

Информация за книгата

Автор

Hiroyuki Fujiwara

Език

Английски език

Корици

Книга - С твърди корици

Издадена

2007

страници

392

EAN

9780470016084

ISBN

0470016086

Enbook ID

04878436

Издател

John Wiley & Sons Inc

Теглоt

762

Размери

157 x 235 x 26

Пълно описание

Ellipsometry is a powerful tool used for the characterization of thin films and multi-layer semiconductor structures. This book deals with fundamental principles and applications of spectroscopic ellipsometry (SE). Beginning with an overview of SE technologies the text moves on to focus on the data analysis of results obtained from SE, Fundamental data analyses, principles and physical backgrounds and the various materials used in different fields from LSI industry to biotechnology are described. The final chapter describes the latest developments of real-time monitoring and process control which have attracted significant attention in various scientific and industrial fields.

Може също да ви хареса

Клиенти, които купиха тази книга, купиха също

Най-често търсени

Categories

Authors

Publishers

Продукти

Продукти

Най-често търсени

Categories

Authors

Publishers

Продукти

Продукти

Spectroscopic Ellipsometry - Principles and Applications

Информация за книгата

Пълно описание

Може също да ви хареса

Клиенти, които купиха тази книга, купиха също